被誉为“全能”的盛师傅，今年45岁，土生土长的东北人。几年前，为谋生计，他断然辗转到广西防城港，“这个地方楼密、活儿多，能挣到钱，才在这里长期发展。”

像这样的重要抉择，盛师傅并非第一次做，在从事家居服务业之前，他是一名电焊工。后又辗转到家具店做安装。但工作机会有限，结款也比较困难，令盛师傅头痛不已。

一次偶然的机会，盛师傅经朋友推荐得知了万师傅平台，毅然决然从线下转移到线上，开始摸索着接单干活。回忆起刚入驻时，盛师傅脸上流露出惊喜的笑意：“那时候我还只是干兼职，一天可以挣一千多。完工后钱立马就到账了...”

对盛师傅而言，加入万师傅平台最大的感触是，他直观享受到网络发达、科技发展带来的便利，工作机遇变多了，收入也随之提高。从前找活儿难、结款难的困扰不复存在，“多劳多得”的工作模式让他更有冲劲儿去完善和提升自己。

“咱今天出去挣钱，说白了就是卖手腕的，你得拿出卖手腕的技能来。”

《万师傅的一天》纪录片中，盛师傅在上门安装防盗窗时，遇到窗户尺寸不匹配无法适配的情况。经测量发现，商家忘记计算螺丝垫长度，导致窗杆过长。

退换又要耗费大量时间和沟通成本，客户焦急为难之余，盛师傅提出解决方案：“安也可以安，但需要切割一下，这属于另外的改造费用。”

双方达成一致后，盛师傅按用户需求现场用切割机切除多余钢管，重新改造产品，这才得以顺利安装完成。在场几人无一不叹服盛师傅的手艺。

对此，盛师傅只是淡然笑道：“师傅领进门，修行在个人。人无论进入到哪个行业，只有不断学习和专研，才能做好本职工作。”

他坦言入行以来就是“让我干啥我干啥”，一切以客户的需求为先，顺势而变，“尤其在万师傅平台，机会那么多，必须多样化发展。家具安装是最简单、最基础的，要培养自己的核心竞争力，就得多学、多练、全面发展。”

机会是留给有准备的人，盛师傅凭借“一专多能”在异乡闯出一片天地，外甥也从东北老家辗转到防城港投奔他。

谈及未来的职业规划，盛师傅仍是干劲满满，“干得还是挺有奔头的。我人生干这个东西（安装维修），还干出来一个名堂。知足，”他停顿半秒，咧开嘴笑了，自顾自接到：“常乐。”

“三百六十行，行行出状元。”家居师傅作为服务业的一员，在改善国民生活上，贡献出伟大力量。他们是平凡岗位上的渺小英雄，用手艺赚钱、用服务变现、用双手创造美好生活，他们值得被看见、被尊重，也始终被需要。

DenuvOwO攻破了最新版本的《赤色沙漠》（1.00.03）、《生化危机：安魂曲》（22277314）和《怪物猎人：荒野》（22195748）。现在这些游戏都拥有了最新版本的虚拟机管理程序，并符合CS.RIN社区对虚拟机所采用的安全标准。

目前尚不清楚该组织的后续计划，但截至目前，他们几乎已经更新了所有游戏的虚拟机攻破程序（仅剩《原子之心》《阿凡达：潘多拉边境》和《侏罗纪世界：进化3》尚未更新），因此DenuvOwO很可能很快就要开始新一轮的攻破行动了。

• 叮当猫
• 发布时间：2026-03-11 09:21
• 作者：叮当猫

3月11日讯 由于目前中东地区的局势，伊朗或将无法参加今夏举行的美加墨世界杯。在参加Talksport的连线采访时，现任伊拉克教练组成员，助教穆伦斯汀谈到了目前有关伊拉克队的最新情况。

穆伦斯汀表示：“在亚足联中，我们是排名最高的球队。那么我们就可以取代伊朗的位置（如果他们退出）。然后阿联酋可能会取代我们，与苏里南和玻利维亚之间的胜者进行比赛。

“但也有传言说，如果FIFA做出最终决定，他们可能会让（附加赛中）FIFA排名最高的球队取代伊朗，也就是意大利。你可以想一想，他们更希望谁参加世界杯？”

同时，穆伦斯汀也呼吁FIFA能够允许附加赛赛程推迟以便伊拉克能够参与。

穆伦斯汀：“（无法正常参加附加赛）我不会称之为灾难，因为真正的灾难是目前中东遭遇的情况。但这对于等待了39年的伊拉克人民来说，将是一个巨大的、巨大的失望。就我们目前的状况、团队以及我们所经历的一切而言，这本身就是一个奇迹。

3月25号消息，杜比实验室（纽交所代码：DLB）今日宣布，公司荣登《Fast Company》（《快公司》）2026年“全球最具创新力公司”权威榜单。本年度榜单聚焦通过创新成果重塑行业格局与文化生态的领军企业。杜比凭借杜比视界第二代（Dolby Vision 2）在消费电子类目中脱颖而出，这项突破性科技将推动电视画质迈向新纪元，提升观众的内容体验。

杜比实验室全球高级副总裁兼首席营销官陶德鹏（Todd Pendleton）表示：“我们非常荣幸第四次荣获‘全球最具创新力公司’奖项，这印证了杜比始终致力于推动前沿科技创新、为创作者赋能、为观众革新娱乐体验方式的坚定承诺。杜比视界第二代延续了这一愿景，为画质树立新标杆，让全球各地的屏幕能够呈现更栩栩如生、更具沉浸感的故事。”

作为沉浸式娱乐领域的先驱，杜比通过杜比视界和杜比全景声为数十亿台设备提供支持，覆盖电视、家庭影院系统、智能手机、笔记本电脑及汽车等众多领域。在此基础上，杜比视界第二代针对电视观看体验长期存在的痛点进一步升级——无论是画面过暗的困扰，还是消除抖动或肥皂剧效应以实现更具影院感的体验。凭借杜比新一代图像引擎（Image Engine）、内容智能（Content Intelligence）与真实动态（Authentic Motion）等创新，杜比视界第二代助力创作者打造更栩栩如生、精准细腻且富有情感张力的叙事体验。

杜比视界第二代的行业影响力持续扩大。自从在IFA 2025展会首次亮相以来，三个全球领先的电视品牌——海信、TCL和TP Vision均已宣布支持该技术，为全球更多屏幕带来新一代杜比视界画质。在内容领域，Peakcock和CANAL+正积极推进对这一技术的采用，进一步巩固杜比在定义电影、流媒体及体育直播等优质娱乐体验的未来的行业地位。

“全球最具创新力公司”是《Fast Company》的标志性榜单，也是其年度最受瞩目的内容之一。为确定入选企业，《Fast Company》的编辑与记者团队对全球各行业推动变革的企业进行调研，通过竞争性申报流程评估数千份参评资料，最终形成涵盖初创企业至全球一些最具价值公司的全球性创新指南。

《Fast Company》主编Brendan Vaughan表示：“我们的‘最具创新力公司’榜单旨在表彰那些不仅适应变化、更主动引领变革的机构。本年度入选企业重新定义了2026年的领导力内涵，将大胆构想与切实影响力相结合，将突破性创新转化为实际价值。他们为所在行业确立发展节奏，为可持续创新提供实践范本。”

　　今年48岁的汪绍琴现任古舜社区党委书记、居委会主任，自1993年走上社区工作岗位以来，一直扎根基层，以“做好社区民生‘微’实事”为目标，深入调查研究、不断探索社区建设新路子、服务民生新途径，每天忙着解民忧、纾民困，社区居民视她为自己的“贴心人”。今年7月，汪绍琴被评为“池州好人”。　

　　古舜社区位于主城区中心地段，属于商居结合型社区，辖区有农贸市场、超市、商业步行街和5个开放式小区，流动人口多，管理难度大。汪绍琴自任职以来，立足社区实际，精细化服务，大力提升社区治理水平。　

　　她从小处着手，在全市率先设立“邻里议事点”，制定“我为群众办实事”任务清单，积极解决巷道环境整治、晾晒点安装、充电桩设置等重难点问题。　

　　她创新工作思路，探索建立“3156”工作法破解社区治理难题，实行楼栋调解、网格调解、社区调解三层网络体系，开展网格化信息采集、资源整合、成效检验等工作；成立“钱姐工作室”，发动党员、社会工作者、群防群治队伍等“进群”搭建参与平台；组建香樟“古舜之家”“五彩阳光驿站”“乐邻祥和小屋”“心援助幸福家”“解忧援助小栈”5支专业联调团队，动员社区工作者、业委会、志愿者、楼栋长等社会力量共同参与，发挥专业团队优势；采取“听、问、调、帮、和、访”6步工作法使调解工作更加多元化、专业化。2022年“3156”工作法被安徽省民政厅授予“全省优秀社区工作法”。　

　　近年来，汪绍琴依托“香樟古舜”党建服务品牌，为38户困难家庭提供居家关爱服务；为25名社区老年人精心设计订制专属个人的“爱心二维码”，给老年朋友的安全提供有力保障；联合池州学院大学生志愿者先后共为800余名留守儿童连续8年开展“爱暖童心筑梦启航”志愿服务活动；搭建创业就业平台，推送各类就业信息近千余条，帮助推荐就业岗位45个。　

　　多年来，汪绍琴在平凡的工作岗位上始终恪守“奉献不言苦，追求无止境”的人生格言，不仅高质量完成上级交办的各项工作任务，还赢得了群众的广泛赞誉。她先后获得“全国妇联系统劳动模范”“池州市皖美警嫂”“池州市‘十佳’村（社区）党组织书记”等荣誉，并当选安徽省第十一次党代会代表、池州市第五次党代会代表、贵池区第十六届人大代表。　

　　“我只是一个平凡的社区干部，取得的成绩属于社区所有工作人员。今后，我将继续用心用情做好服务，努力成为社区居民最信赖的‘贴心人’。”面对众多荣誉和赞美，汪绍琴说。（记者 倪晓春）

广西新闻网-广西日报杭州电（特派记者 钟文昌 玉智威）9月24日晚，由张博恒、邹敬园、肖若腾、林超攀、兰星宇组成的中国体操男队以262.025分的总成绩夺得杭州亚运会体操男子团体金牌，蝉联该项目冠军，广西籍运动员兰星宇因此拿到自己的第一块亚运金牌，也为广西健儿在杭州亚运会上获得首枚金牌。

9月24日，杭州亚运会竞技体操男子团体冠军中国队选手兰星宇、林超攀、张博恒、肖若腾、邹敬园（从左至右）在颁奖仪式上。新华社记者 程婷婷 摄

24日亚运会首个体操比赛日进行的是男子资格赛和团体决赛，资格赛成绩直接决定了团体赛成绩。中国队在第三场资格赛中亮相，第一个项目鞍马比赛中，张博恒、肖若腾都拿到了14分以上的成绩。

中国队在男子吊环上占据绝对优势，兰星宇、邹敬园、张博恒三人出战，成绩包揽前三。其中，兰星宇以全场最高难度分6.4分的成套动作，位列这个项目第一。在吊环项目上，中国队拿到44.466分，比排在第二的日本队高出2.967分。

中国队最后一个项目为自由体操，林超攀、肖若腾、张博恒先后上场。当张博恒以一套漂亮的动作完成比赛后，中国队队员们振臂欢呼，14.933分！团体总分262.025分已经超越日本队来到了得分榜榜首。队员们甚至已经拿出国旗开始庆祝胜利。在欢呼声中，兰星宇完成了个人最后一套动作，尽管有些瑕疵，但得分已不重要，中国队已将冠军收入囊中，成功卫冕！

“兰星宇助力国家队夺得男子体操团体金牌，为参加杭州亚运会比赛的广西健儿开了个好头。”当晚，在杭州黄龙体育中心体操馆，分管竞技体育的自治区体育局副局长魏鹤，观看了中国体操男队团体赛夺冠的全过程，并肯定了广西籍运动员兰星宇在此次比赛中的表现。

赛后，在评价自己的表现时，兰星宇的神情开始有些凝重，他直言不讳地说：“第一次参加综合性运动会，还是有压力的，我今天还是紧张了，在一些项目的表现上有瑕疵。”

9月28日，兰星宇将出战吊环决赛。作为近年来中国男子体操的吊环担当，他立志要拿出比这个夜晚更好的表现，“我会调整好心态，这几天把动作的细节跟规格再提升一下，相信会取得好成绩的”。

　　茂林修竹间，一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园，地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村，万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐，让不少城里游客流连忘返。

　　“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错！林下养鸡，林间种油菜，春天你再来看，又是一番美景！”作为当地较早返乡创业的新农人，长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。

　　王正华告诉记者，林长制改革以来，山有人管，林有人治，责有人担。村里优化产业结构，将资源变资产，发展现代都市观光农业，产业链条不断延伸。城里游客慕名而来，一到周末，农庄里的十几间精品民宿“一房难求”，优质的特色农产品成了抢手货。

　　守绿换金，添绿增金。在安徽，5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示，近5年，安徽省造林765万亩，农田林网建成率达73.8%，湿地保护率达51%以上。

　　森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点，不断拓展生态产品价值实现途径，统筹推进生态产业化和产业生态化，推动生态资源转化为“富民资本”，绿水青山底色更亮，“金山银山”成色更足。

　　蓝天下，一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延，健身步道、休闲木亭点缀在茶园中，位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。

　　依托优美的生态环境，郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合，加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通，描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。

　　“我们依托黄金茶标准化种植基地，探索茶旅融合，发展生态+康养产业，将美丽风光变为美丽经济，带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。

　　水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生，安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。

　　统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理，安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道，为区域经济发展筑牢生态安全屏障。

　　图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端 摄

　　在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地，百鸟争鸣，草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加，生物多样性加快恢复，巢湖生态湿地重现生机。

　　当地群众告诉记者，这几年生态环境好了，常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息，难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。

　　巢湖风光，作为五大淡水湖之一，巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端 摄

　　青山为笔，碧水为墨，一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。

　　二是产业链主清单。梳理铁拓机械、新源重工、精镁科技等重点链主企业，引导龙头企业发挥“头雁效应”。建立拟培育企业梯度目录，规上企业着力强链补链，规下企业重点培育。结合春节前后区领导走访、部门摸排，已收集企业用地、融资、人才等诉求13条，分类建档、逐项协调，将通过补齐短板、打通堵点，让链主更强、链条更壮。同步谋划组建产业联盟，助力企业产销对接、抱团发展。

　　三是产业重点项目清单。已涵盖新源重工新厂区、河市西片区智能装备产业园等省市区重点项目8个，总投资超30亿元。专班将协同区重点办做好征迁用地等要素保障，及时协调解决项目建设中的困难问题，以项目为载体为产业持续注入新动能。

　　四是产业招商项目清单。将会同区招商办围绕数字经济产业园、智能装备产业园等重点园区开展靶向招商。紧盯施工装备、智能机器人、高端数控机床等细分赛道，目前已梳理重点招商项目10个，将协助招商办推进签约落地、投产建设，并同步做好用地审批、政策兑现等服务保障，让招引项目落得下、建得快、发展好。

　　下阶段，专班将进一步细化产业子赛道图谱，持续对四张清单实行动态管理，加快构建“搬不走、竞争力强”的产业生态。

国家防灾减灾救灾委员会办公室、应急管理部近日会同自然资源部、水利部、农业农村部、中国气象局、国家林草局等部门对5月份全国自然灾害风险形势进行会商研判。

分析认为，预计5月份，华东南部、华中东南部、华南东北部等地降水偏多，浙江西南部、福建西部、江西中南部、湖南东南部、广东北部、西藏西部、陕西中部、甘肃中部和东部、青海东北部、宁夏等地降水偏多2至5成，易出现强降雨及雷暴、大风、冰雹等强对流天气，洪涝和风雹灾害风险较高。

在地质灾害风险方面，受强降水等因素影响，浙江、安徽、福建、江西、湖北、湖南、广东、广西、重庆、四川、陕西、甘肃、青海等局地发生地质灾害风险较高。

在森林草原火灾风险方面，预计东北、西南、华东、华南等地森林火险等级较高，其中内蒙古东部、黑龙江中北部、四川南部、云南中北部部分地区森林火险等级高。内蒙古东部部分地区草原火险等级较高，局部时段草原火险等级高。

在干旱灾害和大风沙尘灾害风险方面，预计云南大部、贵州西部、四川南部气温较常年同期偏高1至2摄氏度，降水偏少2至5成。云南等地前期干旱持续时间较长，受气温升高和降水持续偏少影响，干旱进一步发展的可能性较大。北方地区冷空气大风活动仍较为频繁。

在农业灾害风险方面，黑龙江、吉林东部降水偏多，局地可能出现春涝。内蒙古东南部、吉林西部、辽宁大部降水偏少，西部传统旱区可能发生旱情。西南地区农业干旱可能加重，其中云南、四川南部、贵州西南部降水仍偏少。南方渍害风险高，华南、长江中下游及以南地区降水偏多。

记者 杜雨敖

　　这是蜀山区稻香村街道黄山路社区的日常缩影。该社区常住人口5000多人，注册志愿者已达1200人。近日，2024年度全国志愿服务“四个100”先进典型发布，黄山路社区获评“最美志愿服务社区”称号。

　　“老”社区有“新”机制

　　黄山路社区集科教、IT商业和居住为一体，辖区南至太湖路、北至黄山路、东至金寨路、西至合作化路，区域面积有0.92平方公里。

　　“我们社区有点大又有点‘老’。”黄山路社区党委书记、社居委主任刘凯介绍，为了让社区治理更有抓手，社区想了一个办法——集纳力量，共同治理。

　　该社区以社区“大党委”为核心，联合18家非公企业、5家驻地单位、2所高校及200余名社区志愿者，组建“巷陌红盟”党建品牌，建立“需求联商、资源联用、项目联办”机制，并打造10支特色志愿服务队伍，构建人人参与、人人共享的基层治理新格局。

　　2024年，通过联盟机制整合资源，社区还孵化了“智慧助老”“儿童护航”等8个志愿服务项目。

　　与此同时，社区积极盘活党群服务中心、新时代文明实践站、小区广场等阵地，设立“志愿服务驿站”，提供各项便民服务；开通“巷陌民声”线上线下反馈渠道，鼓励居民提交“微需求”，发动志愿者参与老旧小区改造、停车位规划、环境整治等民生实事，累计解决群众关切问题120余件。

　　为激励志愿者积极参与志愿服务，社区发放“巷陌幸福卡”，志愿者可凭服务积分兑换“巷陌红盟”成员单位提供的购物折扣、免费体检等福利，形成良性循环。

　　企业力量助阵社区治理

　　在社区众多志愿服务队伍中，值得一提的，当属社区精心组建的“企业帮帮顾问团”。它集纳了47家辖区企业，为居民提供帮助。

　　刘凯介绍，之所以组建这样一支队伍，是因为在走访中发现，居民有些困难涉及专业的知识，仅靠社区难以提供专业支持，因此希望吸纳具有专业资质或行业经验的企业参与社区治理和服务。

　　“企业帮帮顾问团”一方面要求发挥企业自身的专业优势，如消防安全、法律咨询、司法鉴定、建筑装修、物业服务等，为辖区居民或企业提供咨询和帮助；另一方面，也邀请企业参与社区日常结对帮扶活动，服务辖区困难居民，协助提升小区、楼宇环境等。

　　合肥志洋科技有限公司便是企业帮帮顾问团的成员之一。节日慰问困难老人、日常帮居民维修电脑、整理共享单车……4年来，该公司员工的身影活跃在多次志愿服务中。该公司党支部书记朱建超说：“企业参加志愿服务，既能为居民做点事情，也通过社区搭建的平台，增进了与辖区其他企业的交流。”

　　“一群人”织就一隅温暖

　　黄玉梅是黄山路社区彩虹快递志愿爱心服务队的副队长。该服务队成立于2006年7月，是社区最早的志愿服务队伍，主要发动退休党员、热心居民等，为高龄、孤寡、特困老人提供“一对一”代购、送餐等服务。

　　黄玉梅认为，志愿者是社区发展的重要力量，不仅帮助社区解决实际问题，还能促进邻里和谐、增强社区凝聚力，带动社区居民主动关心事务，形成“人人为我，我为人人”的良好氛围。

　　目前，黄山路社区注册志愿者共有1200人，占常住人口比例达23.1%，累计开展志愿服务活动2000余场，服务群众超3万人次。

　　“未来，我们将持续做好‘巷陌红盟’品牌，吸纳更多企业、高校、个体户等社会力量，为居民提供更多元的服务。”刘凯表示，社区计划推动开展公益市集、科普活动等项目，进一步盘活志愿服务资源，营造“人人参与、人人共享”的良好氛围。（记者 任海怡 通讯员 陈珉 刘亚萍）

图片来源：国家典籍博物馆官微

展览的“沙场战神少秦王”“不世雄才唐太宗”“万民之王天可汗”“凡夫一面李世民”四个部分，通过梳理唐太宗李世民的生平主线，配合重点文物展陈、数字光影展示、唐风场景复原、手册互动玩法、多种研学课程、热点活动打卡等方式一窥唐太宗李世民的成长之路。

中国历史上唐朝国力强盛，威名远扬。唐朝第二位皇帝唐太宗李世民为唐朝的建立与统一立下赫赫战功，他任用贤才、虚心纳谏、静民重农，完善制度，对内文治天下休养生息，对外开疆扩土巩固边防，在位期间政治清明、经济繁荣、社会安定，为唐朝后来的盛世局面奠定了重要基础。

展览的140组、249件重磅文物来自昭陵博物馆、宁夏固原博物馆、国家图书馆（国家典籍博物馆）、山西博物院等15家博物馆，涉及不同文物材质类型，重点展品包括微笑仕女图、鎏金银壶、尉迟敬德墓志、贴金彩绘釉陶文官俑、唐贞观十六年鎏金菩萨造像、石刻胡旋舞墓门、白陶舞马俑等珍贵文物，引领观众邂逅贞观，深入了解初唐历史文化，感受大唐贞观的社会、政治、经济、文化、军事、外交发展脉络。展览至8月25日结束。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。